一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置

摘要

本实用新型公开了一种用于制造非晶硅薄膜的激光装置，包括支架和激光发生器，电机输出端连接转轴，转轴固定连接主动半齿轮，从动齿轮固定连接螺纹杆，螺纹杆另一端延伸至支架右侧内壁上，且通过轴承与支架转动连接，套管上端铰接连接第二连杆，第二连杆另一端铰接连接第二固定块，第二固定块固定安装在第二固定杆上，第一固定杆和第二固定杆分别与支架内壁滑动连接，直杆另一端固定连接连接块，连接块通过连接轴固定连接安装座，安装座上表面固定连接安装板，安装板上设置有激光发生器，激光发生器底面固定安装预留座，预留座上设置有与锲型块相适配的锲型卡槽。该实用新型具有能够对薄膜进行均匀全面进行辐射和激光发生器方便安装拆卸的优点。