基片载板及具有该基片载板的MOCVD设备

摘要

本实用新型涉及太阳能电池制造设备技术领域，尤其涉及一种基片载板及具有该基片载板的MOCVD设备。该基片载板包括第一基板和第二基板，第一基板和第二基板对设的侧边上分别设有插头部和插座部，第一基板和第二基板之间通过插头部和插座部相对的插接组合；基于该基片载板提出了一种MOCVD设备。该基片载板利用拼接结构将多块基板通过拼装连接为一体，可以有效解决大尺寸基片载板加工难度大的问题，在保证载板拼接结构强度的同时，降低加工成本，提高加工效率，有助于提升芯片产能，并且该基片载板的使用强度能够得到有效保证，同时具有较小的变形量，能够很好的应用在MOCVD设备中，从而确保工艺质量满足要求。