基于激光位移传感器的方形薄膜振动检测控制装置

摘要

本实用新型公开了基于激光位移传感器的方形薄膜振动检测控制装置,包括方形薄膜本体部分及控制部分，所述方形薄膜本体部分包括方形薄膜、压电陶瓷驱动器、激光位移传感器、压电传感器及超声波激振器，超声波激振器激振方形薄膜，振动检测部分检测方形薄膜的振动信息后发送给计算机，计算机经过相应处理后发送信号至振动控制部分，而后压电陶瓷驱动器对方形薄膜进行控制，从而实现对方形薄膜振动的测量与控制。