基于激光位移传感器的并联平台振动检测控制装置与方法

摘要

本发明公开了一种基于激光位移传感器的并联平台振动检测控制装置与方法，装置包括并联平台本体单元、振动检测单元以及振动控制单元，并联平台本体单元包括一动平台、一静平台和三个并联分支，每个并联分支包括依次相连的电机、主动杆和从动柔性杆。从动柔性杆上粘贴有多片压电陶瓷片驱动器，静平台周围安装三个激光探测头，用以检测动平台在水平方向上的平动位移和转动角度。电机驱动主动杆和从动柔性杆使动平台定位到目标位置之后，动平台有残余振动，激光探测头检测到动平台的振动信号，通过振动控制单元将控制量施加在压电陶瓷片驱动器上，实现对并联平台残余振动主动控制的目的。具有测量精度高、采样频率高、动态响应快的优点。