レーザー式光電センサとレーザー変位センサレーザー変位センサの特徴

摘要

レーザー変位センサは，大別すると図1のような用途に使用される。 異なる2点を計測し，その差分から段差や対象物の厚さを計測する用途（図1(a)），対象物の表面を連続計測し，対象物のうねりや反りなどを計測する用途（図1(b)），対象物までの距離を計測することで対象物の高精度位置決めや対象物の移動精度を計測する用途（図1(c)）などがある。 このような用途を基本パターンとし，自動車，FPD，半導体，電子部品などあらゆる業界の様々な対象物を計測する用途に使用される。