可抑制激光漂移和表面倾斜的对称式激光位移传感器

摘要

本发明提出一种可抑制激光漂移和表面倾斜的对称式激光位移传感器，它由发射镜组、激光二极管、外壳、处理电路、电缆、光电器件、反射镜、接收镜组、滤光片等部分组成。该激光位移传感器具有两个接收镜组，将一个测量光斑形成两个成像，再通过两个反射镜投向同一个光电器件上，同时产生两个成像波形。采用两个成像波形相对于光电器件中点的位置的平均值作为位移测量结果，可以消除激光指向性的漂移或被测目标表面倾斜产生的位置偏移量。