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柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的研究

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摘要

ITO(氧化铟锡)导电薄膜广泛应用于手机、平板、车载导航等触摸屏,其主要采用卷对卷真空磁控溅射设备制备而成.现在对轻、薄的要求越来越高,这就增加了卷对卷生产中比较薄的PET(23 μm厚度以下)平整度控制难度,故设计出一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制的装置,并已在产线成功使用.

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来源
《玻璃》 |2018年第9期|49-51|共3页
作者
任丹; 关仁鹤;
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作者单位

安徽方兴光电新材料科技有限公司蚌埠市233000;

安徽方兴光电新材料科技有限公司蚌埠市233000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类玻璃工业;
关键词
柔性镀膜; 薄膜平整度; 在线控制;

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