一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统

摘要

本实用新型公开了一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统，包括：太赫兹发射源、准直透镜、硅片、衍射元件、聚焦透镜、太赫兹探测器、样品台、样品台移动装置、锁相放大器及控制模块；准直透镜、硅片、衍射元件及样品台沿透射方向依次设置；硅片的中心位于透射波束的中心轴线上，并且与中心轴线夹角为45°；准直透镜和衍射元件的主光轴均位于透射波束的中心轴线上；衍射元件使得透射波束成为零阶贝塞尔波束；聚焦透镜主光轴位于反射光路上并且与透射波束的中心轴线垂直；太赫兹探测器位于聚焦透镜的焦平面上；太赫兹探测器与锁相放大器相连；控制模块分别与样品台移动装置和锁相放大器相连。本实用新型可同时提供高成像质量和大景深。