一种数字光纤合束器及无掩膜光刻系统

摘要

本实用新型实施例公开了一种数字光纤合束器及无掩膜光刻系统。数字光纤合束器的光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束外包光纤按照预设的排列方式组合而成；光通断模块包括多个连接小室及位于连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳第一光纤合束的第一外包光纤内端和与第一外包光纤相应的第二光纤合束的第二外包光纤内端，且第一外包光纤内端端面与第二外包光纤内端端面间形成狭缝；封装及保护模块用于对像元开关进行封装连接和对数字光纤合束器进行保护。本申请提供的技术方案不仅可动态获得掩膜图案，还可提高光刻分辨率。