公开/公告号CN206904128U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 北京市长城机床附件有限责任公司;
申请/专利号CN201720539673.3
申请日2017-05-16
分类号
代理机构北京名华博信知识产权代理有限公司;
代理人李冬梅
地址 102206 北京市昌平区回龙观镇朱辛庄320号
入库时间 2022-08-22 03:43:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-19
授权
授权
机译: 改进半导体加工设备工具基座/垫块隔振和减振的方法
机译: 改进的半导体加工设备工具基座/垫块隔振和减振的方法
机译: 改进半导体加工设备工具基座/垫块隔振和减振的方法