静电力再平衡摆式硅微加速度计控制系统设计方法及实现电路

摘要

静电力再平衡摆式硅微加速度计控制系统设计方法及实现电路，包括步骤：进行硅微加速度计的系统分析和建模，并针对系统特征方程进行分析，重点分析系统的负刚度特性影响；将实际参数代入模型，然后设计一套一般控制电路和表头联调，构成稳定回路，精确测试整个系统的频率特性，作为精确设计的理论依据；根据精确测试系统频率特性的结果，采用二阶串联积分校正网络的高增益、高带宽的加速度计稳定回路，并利用饱和特性对校正网络进行剪切；最后进行硅微加速度计频率特性的综合，从而得到整个控制系统的综合特性。本发明将系统在同一频率点的刚度提高了10倍左右，系统带宽也有较大提高，从仪表控制系统方面很好的解决了精度和长期稳定性问题，改善了系统的快速启动性能。b pnum="1" />