扭摆式硅微加速度计的优化设计

摘要

文中介绍了扭摆式硅微加速度计的结构原理和对其进行最大灵敏度优化设计的方法，计算结果表明，对硅微速度计的结构参数进行优化，可以最大限度地提高传感器的性能。