具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构

摘要

本实用新型为一种具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其是在下电极板结合有图案化冷却盘，并借由图案化冷却盘的图案设计，使下电极板的中央区域及外围区域与图案化冷却盘的接触面积产生差异，形成不同程度的冷却。借由本实用新型的实施，可以使晶圆托盘结构温度均匀，并进而应用于半导体晶圆等离子体(plasma)制造过程，使整个晶圆托盘结构的温度皆相等，或是近乎相等，大幅提升半导体晶圆等离子体制造过程的可靠度及合格率。