公开/公告号US2010319852A1
专利类型
公开/公告日2010-12-23
原文格式PDF
申请/专利权人 DOUGLAS A. BUCHBERGER JR.;KALLOL BERA;HAMID TAVASSOLI;RICHARD FOVELL;DANIEL J. HOFFMAN;PAUL LUKAS BRILLHART;DOUGLAS H. BURNS;
申请/专利号US20100855675
发明设计人 DOUGLAS A. BUCHBERGER JR.;KALLOL BERA;HAMID TAVASSOLI;RICHARD FOVELL;DANIEL J. HOFFMAN;PAUL LUKAS BRILLHART;DOUGLAS H. BURNS;
申请日2010-08-12
分类号C23F1/08;H01L21/306;
国家 US
入库时间 2022-08-21 18:14:09