一种减轻晶圆切割应力破坏的晶圆结构及版图设计方法

摘要

本发明公开了一种减轻晶圆切割应力破坏的晶圆结构及版图设计方法，该晶圆结构包括高密度金属层和位于其上方的氧化物钝化保护层，氧化物钝化保护层包括无图形连线的金属层和位于无图形连线的金属层上方的研磨垫层；晶圆结构还包括开窗和金属伪器件，开窗设置在晶圆结构的特征图形上方的氧化物钝化保护层上，金属伪器件设置在晶圆结构的无图形连线的金属层上。本发明能够防止晶圆切割时大能量的应力崩裂发生，或缩短崩裂的破坏距离。