公开/公告号CN205920972U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 洛阳鸿泰半导体有限公司;
申请/专利号CN201620955810.7
申请日2016-08-29
分类号
代理机构洛阳明律专利代理事务所(普通合伙);
代理人杨淑敏
地址 471023 河南省洛阳市高新区滨河路22号留学人员创业园2钢构厂房
入库时间 2022-08-22 02:08:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-01
授权
授权
机译: 新的双面抛光半导体晶圆具有极低的正面位置,以正面为基准的最小二乘比平面度值,在晶圆边缘和中心区域之间变化不大
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