法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81B3/00 授权公告日:20160413 终止日期:20181104 申请日:20151104
专利权的终止
2016-04-13
授权
授权
机译: 用于静电驱动植物的电路,例如梳状驱动微机电系统(MEMS)镜及相关子系统,系统和方法
机译: 用于静电驱动植物的电路,例如梳状驱动微机电系统(MEMS)镜及相关子系统,系统和方法
机译: 用于静电驱动诸如梳状驱动微机电系统(MEMS)镜的工厂及其相关子系统,系统和方法的电路