基于二维模型的静电梳状结构平稳性分析

摘要

微静电驱动器作为MEMS中一个重要的功能实现器,是当前MEMS中研究的热点。文章基于二维模型结合垂直平移刚度及转动刚度两方面综合考虑,对静电微驱动结构单元的面不平稳性及最大静态位移进行了研究分析。其最大静态位移与叉指间距,初始重叠长度以及弹性系数比有关,分析了理论结果并通过FEM进行验证。