公开/公告号CN205080364U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州锦富新材料股份有限公司;
申请/专利号CN201520214157.4
申请日2015-04-10
分类号G03F7/00(20060101);
代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;
代理人陶海锋
地址 215126 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦分区江浦路39号
入库时间 2022-08-22 01:12:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-04
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F7/00 变更前: 变更后: 申请日:20150410
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-03-09
授权
授权
机译: 用于纳米压印的模板,使用用于纳米压印的模板形成图案的方法以及用于生产纳米压印的模板的方法
机译: 模板基板,用于纳米压印的模板以及用于制造纳米压印模板的方法
机译: 纳米压印模板的图案排列方法和纳米压印模板