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一种复合纳米压印软模板

摘要

本实用新型公开了一种复合纳米压印软模板,具体制备为先制备由PDMS树脂层组成的弹性层,再制备由UV树脂层组成的硬质层,然后将弹性层覆于硬质层之上,固化后得到复合纳米压印软模板。本实用新型采用多层递进变化方法制备的复合纳米压印软模板,既可以获得较高硬度的结构层,又可以解决高硬度层脱落和开裂的问题;并且制备工艺简易、成本低,适于工业化生产。

著录项

  • 公开/公告号CN205080364U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2016-03-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州锦富新材料股份有限公司;

    申请/专利号CN201520214157.4

  • 发明设计人 马慧军;王鹏;韦冬;

    申请日2015-04-10

  • 分类号G03F7/00(20060101);

  • 代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;

  • 代理人陶海锋

  • 地址 215126 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦分区江浦路39号

  • 入库时间 2022-08-22 01:12:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-07-04

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F7/00 变更前: 变更后: 申请日:20150410

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-03-09

    授权

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