微机电系统(MEMS)多轴陀螺仪Z轴电极结构

摘要

本发明公开了各种实例，包括用于对运动进行感应的微机电管芯，所述微机电管芯包括与不对称定子电极交错接合的对称质量块电极。这些实例中的一些包括围绕与所述电极在其中设置的所述平面正交的轴弯曲的电极。一个实例提供垂直挠曲部，所述垂直挠曲部以允许围绕水平轴挠曲的方式将内环架耦合到质量块。