可提高硒化质量的硒化反应装置

摘要

本申请公开了一种可提高硒化质量的硒化反应装置，包括一个硒源蒸发室、硒蒸汽流通通道、载气流通通道、混合气体流通通道、反应室；本申请所述的可提高硒化质量的硒化反应装置，利用微波发生装置离化硒原子，分散硒的大分子团，提高硒原子能量；传统方式中惰性气体是不加热的，本设计方案中加热惰性气体可以更好的保持硒蒸汽流的能量；本装置中两股气流交汇的方式采用了平行交汇，取消了传统的垂直交汇；使用可加热式匀流板提高硒蒸汽分布的均匀性。