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金刚石线切割硅片冷却液回收系统

摘要

本实用新型公开了金刚石线切割硅片冷却液回收系统,其包括太阳能硅片切割设备、冷却液供给泵、冷却液回收泵、冷却液桶和单晶原料仓,其还包括有废液收集池、过滤装置、调配箱、硅粉收集箱,冷却液桶上还设有溢流出口和补液口。优点:通过本实用新型系统,可以实现冷却液的循环利用,同时,冷却液时时被过滤,降低冷却液中硅粉含量,提高冷却液的质量,因此,有效的改善切割环境,提升切割硅片的合格率;可有效回收利用冷却水及浓缩冷却液,降低排污量;可减少冷却水及浓缩冷却剂的使用量,降低生产成本;由于冷却液更换无需人工操作,可降低员工劳动强度。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-27

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/301 登记生效日:20191209 变更前: 变更后: 申请日:20150708

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-11-18

    授权

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