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【2h】

Effect of Growth Rate and Wafering on Residual Stress of Diamond Wire Sawn Silicon Wafers

机译：生长速度和硅片对金刚石线锯硅片残余应力的影响

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作者
Kumar Arkadeep; Prasath R.G.R.; Pogue Vanessa; Skenes Kevin; Yang Chris; Melkote Shreyes N.; Danyluk Steven;
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年度 2016
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