一种基于圆形压电双晶片驱动的共振隔膜泵

摘要

本实用新型涉及一种基于圆形压电双晶片驱动的共振隔膜泵，其特征在于包括圆形压电双晶片、质量块、传振杆、隔膜、悬臂梁阀等，其中，圆形压电双晶片周边悬置，中心通过螺栓二与传振杆下端固定连接，传振杆上端与隔膜通过环氧树脂粘结，下壳体一上开有隔膜安装槽，隔膜布置在隔膜安装槽上，进口悬臂梁阀和出口悬臂梁阀与泵腔连通且过流方向相反。当给圆形压电双晶片施加正弦交变的激励信号时，压电双晶片将产生弯曲变形，当激励信号的频率与激振系统的一阶频率相同或接近时，系统发生共振，压电双晶片的变形通过激振系统放大后由传振杆传递到隔膜，使隔膜大幅振动变形，从而使泵腔容积发生变化，在两悬臂梁阀的交替配合下，实现流体的定向输送。