基于压电双晶片驱动微位移放大机构设计

摘要

本文主要介绍了以压电双晶片驱动微位移放大机构的设计,该放大机构以三角放大机理构造的柔性铰链机构作为位移输出.并通过理论计算、建模以及有限元软件对微位移放大机构进行设计,最后制作了微位移放大机构的样机,并进行了实验测试.对得到的测试数据进行分析,结果表明:微位移放大机构的行程为0 ～ 77.8 μm,放大倍数约为6.2倍.