声明
摘要
符号说明
第1章绪论
1．1课题来源
1．2课题研究背景及意义
1．3压电材料及其特性
1．4压电微驱动器及微动平台
1．4．1压电微驱动器的分类
1．4．2微动平台的分类
1．5国内外研究现状
1．5．1压电弯曲驱动器
1．5．2微动平台
1．5．3压电微动系统控制方法
1．6本文的主要研究内容
第2章压电晶片驱动器的设计与建模
2．1引言
2．2压电材料的热压电本构方程及其参数耦合
2．3电场和热电复合场下的压电晶片驱动器挠度方程
2．3．1电载荷下压电晶片驱动器的静力学弯曲特性分析
2．3．2热载荷下压电晶片驱动器的静力学弯曲特性分析
2．3．3压电晶片驱动器的静力学挠度方程
2．4压电晶片驱动器静力学模型仿真与实验
2．4．1热电复合场检测系统搭建
2．4．2电载荷下静力学改进模型的仿真与实验
2．4．3热-压电耦合静力学改进模型的仿真与实验
2．5外部力载荷下的单层压电晶片驱动器挠度方程
2．6压电晶片驱动器的设计与优化
2．7本章小结
第3章柔性压电微动平台的设计与静力学建模
3．1引言
3．2柔性压电晶片微动平台设计、制备及其工作原理
3．3柔性压电微动平台的静力学建模
3．3．1柔性铰链及其柔度矩阵
3．3．2等效柔度矩阵及坐标变换
3．3．3热-压电-力耦合静力学模型
3．4柔性压电微动平台热电复合场仿真及实验验证
3．4．1检测系统原理与搭建
3．4．2仿真分析及实验验证
3．5结构尺寸变化对柔性压电微动平台输出行程和固有频率影响
3．5．1结构尺寸变化对输出行程影响
3．5．2结构尺寸变化对固有频率影响
3．6输入电压受限时的柔性压电微动平台运动范围
3．7本章小结
第4章柔性压电微动平台热-压电-力耦合动力学建模
4．1引言
4．2柔性压电微动平台的动力学建模
4．2．1拉格朗日方程
4．2．2内部各参数耦合关系
4．2．3柔性压电晶片微动平台的动力学建模
4．3温度变化对柔性压电微动平台等效刚度和固有频率影响
4．3．1柔性压电晶片微动平台的固有频率
4．3．2温度变化影响下的等效刚度和固有频率
4．4柔性压电微动平台动力学模型的仿真和实验验证
4．5本章小结
第5章柔性压电微动平台的位姿解耦伺服控制与验证
5．1引言
5．2基于ESO的柔性压电微动平台滑模控制
5．2．1变量转换矩阵和温度补偿
5．2．2滑模控制的抖振
5．2．3扩张状态观测器的结构设计
5．2．4基于扩张状态观测器的滑模控制器设计
5．3柔性压电微动平台位姿解耦伺服系统实验验证
5．3．1位姿解耦伺服系统构建与参数设置
5．3．2电场及热电复合场下的位姿解耦伺服控制实验验证
5．4本章小结
结论与展望
参考文献
致谢
攻读博士学位期间取得的科研成果及奖励
山东大学;
