一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台

摘要

本实用新型公开了一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台，所述平台包括底板、位于底板上的支撑模块、对称安装于支撑模块两侧的两个运动模块，每个所述运动模块包括配重块、压电陶瓷致动器及主质量块，所述压电陶瓷致动器包括正极和负极，压电陶瓷致动器正极和负极用于与驱动信号相连，所述驱动信号为线性电压和非线性电压的组合，其中非线性电压的变化率逐渐增大。本实用新型的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台结构简单、能够实现快速大行程的精密定位、容易实现多自由度驱动、并且不需要专门的位置保持装置。