交叉指状垂直原生电容器

摘要

金属电容器结构包括多个线层结构（15、16、25、26），其与通路层结构（31、32、33、34、41、42）垂直互连。每个第一线层结构（15或25）和每个第二线层结构（16或26）包括一组平行金属线（11或21、12或22），其在端部上物理地结合到具有矩形水平截面区域的矩形标签结构（13或23、14或24）。第一线层结构（15或25）内的第一组平行金属线（11或21）和第二线层结构（16或26）内的第二组平行金属线（12或22）交叉指状且彼此平行，并且可共同形成交叉指状均匀节距结构（（11、12）或（21、22））。因为矩形标签结构（13或23、14或24）在矩形标签结构（13或23、14或24）的两个相向侧壁中间的区域内不朝着彼此突出，所以亚分辨率辅助特征（SRAFs）可用于在交叉指状均匀节距结构（（11、12）或（21、22））的整体上提供均匀宽度和均匀节距。