公开/公告号CN202930389U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡中星微电子有限公司;
申请/专利号CN201220575622.3
发明设计人 王钊;
申请日2012-11-01
分类号
代理机构无锡互维知识产权代理有限公司;
代理人戴薇
地址 214028 江苏省无锡市新区太湖国际科技园清嘉路530大厦A区10层
入库时间 2022-08-21 23:47:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L29/423 授权公告日:20130508 终止日期:20151101 申请日:20121101
专利权的终止
2013-05-08
授权
授权
机译: FINFET FINFET FINFET FINFET装置及其形成和监控质量的方法
机译: FINFET FINFET FINFET FINFET装置及其形成和监控质量的方法
机译: 一种制造包括鳍元件的底部和FinFET的FinFET器件的方法