一种生长单晶用籽晶杆及包括该籽晶杆的生长单晶设备

摘要

本实用新型提供了一种用于生长单晶用籽晶杆，其包括管体，该管体有内管(7、9)及外管(8、10)构成，上述内管及外管之间隔开一定距离；安装在上述管体顶端的旋转接头(12)，该旋转头(12)上设有冷却气体入口(1)及冷却气体出口(2)；设置在上述旋转头(12)的下方的转动件(13)、称重传感器(14)及外围护套(6)；其中，该转动件(13)与连接在上述管体上的旋转驱动器(5)相互配合以实现籽晶杆的旋转；该外围护套(6)罩在上述外管(8、10)外侧，该外围护套(6)上分别设有冷却液入口(3)及冷却液出口(4)；上述管体的末端开设有卡槽(11)；并且，所述籽晶杆整体密封设置。