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具有可熔焊区和可细丝压焊区的金属再分布层

摘要

本发明提供一种再分布金属化方案,除现有压焊区(102)外,还组合焊块(122)和细丝压焊区(132),以强化半导体器件的连接性,尤其是倒装芯片应用中的连接性。其制作方法包括在再分布淀积步骤期间形成附加压焊区。再分布层用的金属(204、206、208)提供形成焊块用的可熔焊表面和细丝压焊用的可压焊表面。

著录项

  • 公开/公告号CN1198337C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2005-04-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 爱特梅尔股份有限公司;

    申请/专利号CN00815449.X

  • 发明设计人 K·M·兰;J·A·科瓦茨;

    申请日2000-08-31

  • 分类号H01L23/525;H01L23/532;

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人沈昭坤

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 08:57:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-11-23

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 23/525 授权公告日:20050420 终止日期:20100831 申请日:20000831

    专利权的终止

  • 2008-04-09

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更前: 变更后: 申请日:20000831

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2005-04-20

    授权

    授权

  • 2003-03-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2002-12-25

    公开

    公开

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