公开/公告号CN202201970U
专利类型实用新型
公开/公告日2012-04-25
原文格式PDF
申请/专利权人 上海曙海太阳能有限公司;
申请/专利号CN201120284907.7
发明设计人 郭锋;
申请日2011-08-05
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人雷绍宁
地址 201300 上海市浦东新区南汇区工业园区陶桥路138号
入库时间 2022-08-21 23:28:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-04-25
授权
授权
机译: 具有微波谐振腔的等离子体化学气相沉积反应器
机译: 使用化学气相沉积工艺制造具有反应器腔室等离子体的半导体器件的方法
机译: 通过微波产生热力学冷等离子体的装置,其谐振腔分布在抽真空的导电阳极中,等离子体在标准大气条件下由微波产生