法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-01-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L1/18 授权公告日:20091021 终止日期:20101114 申请日:20081114
专利权的终止
2009-10-21
授权
授权
机译: 压阻式微机械传感器组件,例如加速度传感器在弯曲托梁的顶面和底面提供压阻掺杂区,并在相对侧将其布置在基板和地震质量之间
机译: 基于两轨压阻微悬臂梁的非光学爆炸传感器
机译: 压阻式微机械压力传感器元件,用于确定例如机动车排气管中烟尘颗粒过滤器的泄漏率,在压敏传感器膜片的偏转区域内装有阻尼元件