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赵玉龙; 刘岩; 孙禄; 蒋庄德;
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
孔缝双桥结构; 加速度传感器; 压阻式; 微机电系统;
机译:具有新型垂直梁结构的压阻式加速度传感器
机译:具有自抵消跨轴灵敏度的六束压阻式加速度传感器
机译:利用人工丝状Sensillum结构的生物启发式压阻加速度传感器
机译:基于EB(八光束)结构中的槽刻蚀的高性能压阻式加速度传感器
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:用于全SiC压阻式压力传感器应用的SiC密封腔结构的制造
机译:使用人造丝状传感器结构的生物悬浮压阻式加速度传感器
机译:采用嵌入式纵向和横向压阻式镱测量仪的带冲击负载的pBX 9501的应力测量
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:通过使用相同的制造具有桥式压阻器的压阻加速度传感器的桥式结构和方法的制造方法
机译:高性能三轴压阻式加速度传感器
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