大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉

摘要

一种大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉，包括炉体、热场、真空系统、保护气氛充气系统、炉内气氛控制系统，设置在热场内腔的钼坩埚通过坩埚下保温托与坩埚杆连接，坩埚杆与主升降机构相连，钼坩埚籽晶管对应的下保温托、坩埚杆设有贯通孔，通孔内设置的副升降杆从坩埚杆底部穿出，并与副升降机构相连。通过副升降机构控制副升降杆的升降，从而为晶体生长提供足够的温度梯度，提高晶体气泡排除能力，减少晶体内部的缺陷。通过气氛控制系统，确保炉内保护气氛符合要求并保持稳定，避免了钼坩埚挥发后杂质的产生。从而有效提高晶体生长质量，生长出规则圆柱形的大尺寸优良蓝宝石晶体。