具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备，特别是一种具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构，包括保温隔热笼体、保温隔热笼体内安装在侧面和顶面的加热器、放置坩埚的石墨冷却块，在保温隔热笼体的内腔四周设置一层保温条，这一层保温条组成高h为73－83mm，宽b为77－87mm的保温带。通过试验，和原来保温隔热笼体内设置上下层叠的三层保温条相比，它的晶体的成长的固液界面呈现为凹型，周围的晶体的成长速度快于中间的结晶，在有效区域中的微晶含量降低，使得生产出来的晶锭中的微晶量下降。