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多晶硅铸锭炉热场底部改进的数值模拟研究

         

摘要

多晶硅铸锭炉热场的优化改进对于生长高质量的多晶硅极为重要.本文结合计算机数值模拟,对多晶硅铸锭炉热场的底部进行优化,并分析了这项优惠对温场、流场和界面的影响.模拟结果表明,热场优化后,杂质分布更加均匀,更有利于定向凝固过程.

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