一种多弧离子镀工件温度检测装置

摘要

一种多弧离子镀工件温度检测装置，公转台固定在真空室内，工件设置在自转台上，自转台固定在公转台的上面，热电偶的一端与工件焊接固定连接，另一端与两个导电环相连接，压缩弹簧的下端与导电柱连接固定，导电柱的下端与两个导电环接触，压缩弹簧的上端与补偿导线连接，补偿导线通过方型钢管的内孔引到真空室的外侧，并与数码显示仪和记录仪串连，在多弧离子镀时，不同温度工件会产生不同的热电势，这样通过热电势实时检测和监控工件上温度，确保多弧离子镀的产品质量，本实用新型具有结构简单、能实时检测、效率高、检测准确、成本低等优点，并提高了工件镀膜质量、节省气体和金属离子源。