多弧离子镀沉积温度对TiN涂层性能的影响

摘要

在多弧离子镀设备上沉积了TiN涂层,研究了不同沉积温度下TiN涂层的表面硬度及与基体的结合力.实验结果表明,在保证基体材料不过热的前提下提高沉积温度,有利于提高TiN涂层的性能.