用于化学机械平面化的具有表面活性剂的固定磨料垫片

摘要

本发明提供了一种采用结构化磨料制品形式的固定磨料垫片(100)，所述垫片具有设置在背衬(110)上的结构化磨料层(120)。结构化磨料层(120)包括聚合物粘结剂、分散在粘结剂中的磨粒和分散在粘结剂中的非离子聚醚表面活性剂。所述磨粒具有小于约200nm的平均粒径，并且按结构化磨料层的总重量计，在所述粘结剂中所述表面活性剂的量为0.75重量%至2.2重量%。本发明还提供了使用所提供的固定磨料垫片研磨工件的方法。