高精度扫描隧道显微镜的镜体

摘要

高精度扫描隧道显微镜的镜体涉及物体不规则表面及轮廓的纳米测量装置,它主要解决定点测量与加工、延伸测量与加工范围的问题,解决的方案是让工作台在水平方向作二维运动,工作台的位移由两个电动进给机构控制,其水平纵向位移的精度为每步距10纳米,其水平横向位移的精度为每步距50到100纳米,工作台的坐标由位置检测器测知,位置检测的精度为2到10纳米,它们驱动工作台把样品待测点送到测针下,以此实现对样品的定点测量与加工和延伸测量与加工范围的问题,它延伸测量与加工的范围为25×25平方毫米或更大,它主要应用在纳米测量与纳米加工方面。