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公开/公告号CN103137538B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201110383797.4
发明设计人 张波;俞文杰;赵清太;狄增峰;张苗;王曦;
申请日2011-11-28
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:38:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-20
授权
2013-07-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20111128
实质审查的生效
2013-06-05
公开
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