用于在集成了CMOS的MEMS电容性器件中优化电流密度的系统和方法

摘要

本主题涉及使用电流分流和定线技术以在器件的多个层之间均匀地分配电流从而获得高品质因数。这种电流分流可以允许在维持高品质因数的同时使用相对狭窄的互连件和馈线。特别地，例如，一种微型机电系统（MEMS）器件可以包括金属层，其包括第一部分和与所述第一部分电隔离的第二部分。第一终端可以独立地连接至所述金属层的所述第一部分和所述第二部分中的每一个，其中所述第一部分限定了在所述金属层与所述第一终端之间的第一路径，并且所述第二部分限定了在所述金属层与所述第一终端之间的第二路径。