公开/公告号CN102498558B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-30
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201080035135.1
申请日2010-07-26
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陆嘉
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:37:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-30
授权
授权
2012-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20100726
实质审查的生效
2012-06-13
公开
公开
机译: 用于在真空处理腔室中处理基板的过程中保持基板的保持装置,用于在真空处理腔室中支撑基板的载体以及该基板的保持方法
机译: 用于在水平层中处理基板的设备包括位于腔室壁内的腔室,基板处理设备以及设置在腔室内并包括承载辊的传输单元
机译: 用于在基板上沉积层的处理腔室设备中的基板布置的掩模布置以及用于在基板的腔室中布置基板的掩模布置的方法和方法