法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-16
授权
授权
2013-03-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/46 申请日:20110215
实质审查的生效
2012-02-01
著录事项变更 IPC(主分类):H05H1/46 变更前: 变更后: 申请日:20110215
著录事项变更
2011-11-23
公开
公开
机译: 等离子体点火装置,等离子体装置,感应耦合等离子体处理装置,点燃等离子体的方法和等离子体处理方法
机译: 具有感应耦合等离子体发生器和设备的等离子体源组件和分析仪,以及执行感应耦合等离子体方法,对准方法和介质的程序
机译: 感应耦合等离子体天线单元,感应耦合等离子体处理装置以及感应耦合等离子体处理方法