摘要：刀具市场迫切需要开发出耐磨性、耐蚀性能更好,使用寿命更长的微型钻铣刀具,从而延长使用寿命,大幅度降低刀具耗用成本,提升利润,并可减少换刀次数,提高机台效率,提高成型机进刀速度,增加产能,提升竞争力.MEVVA离子注入技术和磁过滤等离子体沉积镀膜复合技术已经在刀具镀膜处理方面得到了认可.为了实现该技术的广泛应用,需要提高生产的效率,降低生产成本,满足市场需要.为此,研制了一台批量微型柱状刀具离子注入与磁过滤镀膜复合机.研制的批量微型柱状刀具离子注入与磁过滤镀膜复合机主体结构为在Φ820mm的圆柱形真空靶室一周内安装一台MEVVAⅡA-L离子源、四台90°偏转磁过滤等离子体沉积源以实现离子注入功能和磁过滤镀膜功能,并大幅度提高镀膜处理能力.该复合机在真空靶室内一周均布8个Φ191mm的工件盘,每个工件盘可安装1272支微型柱状钻铣刀具,可一次性处理10000支以上的刀具.本机采用独创性的变速公转自转控制系统,确保离子注入和镀膜处理的均匀性.初步试验结果表明,研制的批量微型柱状刀具离子注入与磁过滤镀膜复合机能够比较充分利用离子束和等离子体束,提高镀膜效率,降低镀膜成本,在满足较好的均匀性要求的同时实现大批量生产.
