公开/公告号CN103809384B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201210451784.0
发明设计人 王天明;
申请日2012-11-12
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 09:36:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-08
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F7/20 变更前: 变更后: 申请日:20121112
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-03-09
授权
授权
2014-06-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20121112
实质审查的生效
2014-05-21
公开
公开
机译: 工件台和掩模台共用的平衡质量系统以及光刻机
机译: 工件台,掩模台,光刻机共享的平衡质量系统
机译: 工件台,面罩台和光刻机共享的平衡质量系统