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公开/公告号CN103097958B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-10
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201180044004.4
发明设计人 刘华玉;刘伟;李江伟;陈洛祁;江泂;
申请日2011-09-01
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张启程
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:34:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-10
授权
2013-10-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20110901
实质审查的生效
2013-05-08
公开
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