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X射线位置测量装置、该装置的位置测量方法、以及该装置的位置测量用程序

摘要

本发明提供一种能够在不增加成本的前提下实现高精度位置测量的X射线位置测量装置。X射线位置测量装置10包括使X射线发射器10a与X射线照相机10b向在测量对象上进行位置测量的位置移动的第1移动单元;用于在进行位置测量的位置,对图像显示部中的基准位置与第2X射线投影图像的位置之间的位置偏移量进行测量,同时将位置偏移量作为对应于该测量位置的补正量,存储在存储部的第1测量存储单元;用于使X射线发射器10a和X射线照相机10b向进行位置测量的位置移动的第2移动单元;以及用于在进行位置测量的位置,根据所述补正量使X射线发射器10a的发射中心与X射线照相机10b的光轴一致,同时进行测量对象的位置测量的第1位置测量单元。

著录项

  • 公开/公告号CN102564360B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-01-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工精密有限公司;

    申请/专利号CN201110318863.X

  • 发明设计人 樫村恒夫;阿须贺拓;

    申请日2011-10-19

  • 分类号G01B15/00(20060101);

  • 代理机构31210 上海市华诚律师事务所;

  • 代理人杨暄

  • 地址 日本国千叶县习志野市

  • 入库时间 2022-08-23 09:34:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-16

    专利权的转移 IPC(主分类):G01B15/00 登记生效日:20180126 变更前: 变更后: 申请日:20111019

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-01-27

    授权

    授权

  • 2013-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B15/00 申请日:20111019

    实质审查的生效

  • 2012-07-11

    公开

    公开

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