矩形平面阴极弧源和阴极靶材烧蚀装置

摘要

本发明提供了一种矩形平面阴极弧源和阴极靶材烧蚀装置，该矩形平面阴极弧源包括：电磁线圈、中心永磁体组和与中心永磁体组极性相反的外围永磁体组；所述中心永磁体组放置于所述电磁线圈的中心；所述外围永磁体组放置于所述电磁线圈的外围。通过本发明所提供的矩形平面阴极弧源和阴极靶材烧蚀装置可以在提高制备涂层的质量的同时，保证阴极靶材的利用率和沉积速率。